SoftMEMS

SoftMEMS是业界先进的MEMS系统设计的解决方案供应商，提供了整套灵活、强大、易于使用的微机电系统(MEMS)的设计和分析工具套件，包括：

系统级工具（System-level Tools）
MEMS Pro是一款灵活、强大、易于使用的微机电系统(MEMS)的设计和分析工具套件。该工具为MEMS设计提供了一套完整的解决方案，可有效缩短MEMS开发周期。提供了可靠的制造分析功能，包括混合MEMS/IC原理图捕获和仿真、全定制掩模布局和验证、三维模型生成和可视化、行为模型创建及3D分析包的链接。	更多
建模工具（Modeling Tools）
MEMS Modeler可自动生成 MEMS的行为模型，并根据有限元分析程序中的三维数据对模型进行电子和封装系统仿真。针对复杂的、涉及多个自由度的有限元模型一般将其简化为几个主自由度的行为模型处理。用户可以根据分析方程进行自定义模型创建，并生成各种主流格式的描述。	更多
布局编辑器（L-Edit）
L-Edit是一个完全分层和全定制的掩膜编辑器，可用于MEMS和IC设计。该工具界面简洁直观，功能全面，可以大大减少布局时间。其中曲线生成器允许用户创建MEMS基本对象类型，如花键、圆角和基于一般方程的曲线。	更多
MEMS快速建模工具（EasyMEMS）
EasyMEMS工具用于自动执行MEMS掩模布局时非常耗时的任务，例如创建极性阵列。有用的宏命令包括生成孔和凹槽，以适当释放MEMS结构应力。	更多
库管理工具（Library）
Library提供了图形化的MEMS器件封装库，且库文件已与指定的或铸造设计规则相关联，充分保证了可制造性。库文件分为热，机械，光学，流体，和静电等多种类型。该库管理器提供了强大的用户接口，包括自动化、定制和扩展布局编辑器命令和函数集使用c语言等，工具支持主流的输出格式。	更多
MEMS验证工具（MEMS Verification）
MEMS Verification提供可配置的设计规则检查器，可根据制造要求验证MEMS布局，以防止代价高昂的设计错误，从而导致额外的制造运行并确保可制造性。此外，还包括应用程序和设备特定的上下文敏感 规则检查。Extractor根据MEMS布局生成SPICE网表，包括MEMS器件，其参数和多域连接。LVS（布局与原理图）工具获取提取的数据，并将其与原理图编辑器中的SPICE网表进行比较，以确保掩模布局捕获设计者的意图。	更多
3D建模工具（3D Solid Modeler）
3D Solid Modeler提供了一个友好的用户界面，可以根据设备布局和制造过程描述创建MEMS器件的三维视图，该功能支持材料沉积、蚀刻、机械抛光、扩散、生长、电镀和晶片操作等表面和体型微加工工艺的可视化。并且3D模型视图可缩放、旋转，还可以选择掩码层的子集进行查看。其中，横截面查看器可以根据用户指定的切割线提供模型的Z向切线视图，模型可以以动画形式显示进程序列。 为进一步实现模型的仿真，可通过定义MEMS材料属性和边界条件，并将其与三维模型一起传递给第三方三维分析程序来实现。一种特的定MEMS网格为模型分析创造了有效的网格。基于用户指定的制作工艺描述，运用3D-To-Layout功能可将三维有限元模型转换为二维掩模布局，从而捕获3D分析过程中的设备掩码修改。	更多
专用铸造模块（Foundry Modules）
Foundry Modules能够实现客户的特定的工艺技要求，并提供工艺专用的设备知识产权。SoftMEMS工具套件集成了各种铸造专用模块，以确保与全球领先的MEMS厂商间工艺兼容性和可制造性。铸造模块包括掩模和设备设计规则、掩模层描述、用于提取的设备描述、工艺参数和材料特性以及铸造制造工艺序列描述。	更多